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电子级高纯超细结晶型硅微粉的制备

作者: 蒋述兴 [1] ; 王秋红 [1]

关键词: 搅拌磨 石英微粉 环氧塑封料

摘要:用钇稳定氧化结球为研磨介质,用研磨筒内壁和搅拌器都衬以聚氨酯的搅拌磨制备了电子级高纯超细环氧塑封料用石英微粉,研究了石英微粉特征参数d30随搅拌粉磨时间延长的变化规律,考察了钇稳定氧化锆球对石英微粉的污染大小,分析和探讨了1μm以下超细石英微粉的化学成分和形貌特征。实验证明,用该搅拌磨磨细石英砂可获得1μm以下、SiO2的质量分数达到99.9%的高纯超细石英微粉,但难以获得球形石英微粉。


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